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光學微電子工程中的空氣是如何過濾的？淨化分析方案
日期：2025-04-20 07:10
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摘要：
光學微電子淨化工程之定義為將一定空間範圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細-菌等之汙染物排除，並將室內之溫濕度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控製在某一需求範圍內，而所給於特別設計之密閉空間。
光學微電子淨化工程亦名無塵室或清淨室，目前已是半導體、精-密製造、液晶製造、光學製造、線路板製造和生物化學、醫藥、食品製造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來，由於技術之**發展，對於產品的高精-密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究製造，已成為世界各國在科...
光學微電子淨化工程之定義為將一定空間範圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細-菌等之汙染物排除，並將室內之溫濕度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控製在某一需求範圍內，而所給於特別設計之密閉空間。
光學微電子淨化工程亦名無塵室或清淨室，目前已是半導體、精-密製造、液晶製造、光學製造、線路板製造和生物化學、醫藥、食品製造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來，由於技術之**發展，對於產品的高精-密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究製造，已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目。
光學微電子淨化工程淨化原理：
氣流→初效淨化→空調→中效淨化→風機送風→管道→高效淨化風口→吹入房間→帶走塵埃細-菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效淨化 重複以上過程，即可達到淨化目的。
傳統的淨化空調係統的設計方案。組合式空氣處理機組裏含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。優點：
A.空氣處理效果好，因空氣經過集中處理，在送風過程中被汙染程度較低。送風的溫度、濕度的控製比較精-確;
B.比較適用於有集中冷源的或是較大的廠房;
C.空調冷熱源可與廠房普通空調係統合用或獨立冷熱源;
D.維修頻率較低;
E.車間的噪音低。
